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PSI3552 - 2020 Processos e Caracterização de Dispositivos Nanoeletrônicos (2020)
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2020
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PSI
PSI3552-201-2020
Aula 16 - 16/10/20 - CVD
Vídeo-aulas com descrição do Trabalho Final (12:20)
Vídeo-aulas com descrição do Trabalho Final (12:20)
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Vídeo-aulas com descrição do Trabalho Final (12:20)
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Avisos
Trabalho Final
Vídeo-aula com a Resolução da 1a Prova em 02/10/2020 (40:00)
Slide com as datas e regras da disciplina
Introdução à microeletrônica e à física dos semicondutores
Vídeo aula sobre Sala Limpa e Substratos
SILÍCIO - SUBSTRATO MONOCRISTALINO - SLIDES da Aula
Materiais para Microeletrônica
A tecnologia de obtenção do silício monocristalino
Vídeo aula sobre Obtenção de Substrato de Silício Monocristalino
T1 - Orçamentos de Lâminas de Si Monocristalino
Vídeo aula sobre FOTOLITOGRAFIA (21:36)
Vídeo aula sobre FOTOGRAVAÇÃO e Fabricação de FOTOMÁSCARAS
FOTOLITOGRAFIA - SLIDES da Aula
A aula gravada será colocada aqui. Aguarde!
Vídeo aula sobre a FOTOGRAVAÇÃO sobre lâminas de Si (1:23:42)
T2 - Os limites da fotolitografia
Fotolitografia
Semiconductor Lithography (Photolithography) - The Basic Process
Nanolithography in Microelectronics: A Review
Vídeo aula sobre Oxidação e Dopagem
Vídeo aula sobre OXIDAÇÃO TÉRMICA (29:05)
Vídeo aula sobre OXIDAÇÃO TÉRMICA - Continuação (1:11:53):
OXIDAÇÃO TÉRMICA - SLIDES da Aula
Oxidação Térmica
Vídeo aula sobre OXIDAÇÃO TÉRMICA
LISTA DE EXERCÍCIOS 1
Vídeo aula de Introdução sobre Dopagem (14:00)
Vídeo aula sobre a Dopagem - Parte 2 (10:04)
Vídeo aula sobre a Dopagem - Parte 3 (6:15)
Vídeo aula sobre a Dopagem - Parte 4 (14:30)
Vídeo aula sobre Dopagem
DOPAGEM - DIFUSÃO TÉRMICA - SLIDES da Aula
CI technology- diffusion and ion implantation
Difusão de Boro
Vídeo aula de Introdução sobre Implantação Iônica (11:58)
Como funciona um Implantador Iônico? (10:00)
Até onde o íon implantado penetra no substrato? (20:00)
Destruição e recuperação da rede cristalina (17:53)
O que é a canalização ("channeling") numa Implantação Iônica (5: 27)
Resolução dos exercícios sobre Implantação Iônica da 1a Lista de Exercícios (16:06)
DOPAGEM - IMPLANTAÇÃO IÔNICA - Slides da Aula
Implantação Iônica
Implantação Iônica
Lista 1 de Exercícios
Video-aula sobre Corrosão (Etching)
Aula Corrosão - Slides da aula
Video-aula sobre Corrosão - Introdução (10 min)
Video-aula sobre Corrosão Úmida (48 min)
Video-aula sobre Corrosão por Plasma (40 min)
T3 - MEMs, Microestruturas e corrosão
Textos de apoio sobre corrosão
Vídeo aula sobre Sala Limpa
SALAS LIMPAS - SLIDES da Aula
Video-aula com apresentações T3 sobre MEMs (20:00)
Video-aula sobre Salas Limpas (xx:yy) (copiado)
PROCESSOS DE LIMPEZA - SLIDES da Aula
Video-aula sobre Processos de Limpeza (56:00)
Video-aula sobre CVD
CVD - Chemical Vapour Deposition (Parte 1) - Slides da aula
Vídeo-aula sobre Introdução ao CVD (07:28)
Vídeo-aula sobre CVD 1 (11:04)
Vídeo-aula sobre CVD 2 (33:55)
Vídeo-aula sobre CVD 3 (32:34)
CVD - Chemical Vapour Deposition (Parte 2) - Slides da aula
Textos de apoio sobre deposição
T4 - Obtenção de dielétricos High-k
Apresentação T4 - High K
Vídeo-aulas sobre CVD - 2a Parte (42:03)
Vídeo-aulas sobre CVD - LPCVD (28:03)
Vídeo-aulas sobre CVD - Si Poli (38:03)
Epitaxia
Epitaxia - Slides da aula
T5 - Tarefa 5 sobre deposição de Metais por CVD
Vídeo-aula sobre Epitaxia - Apresentação (31:42)
Vídeo-aula sobre Epitaxia - Parte 2 (09:42)
Vídeo-aula sobre Epitaxia - Parte 3 (09:22)
Vídeo-aula sobre Epitaxia - Parte 3 MBE (22:26)
Interconexões
Interconexões - Slides da aula
Primeiro chip com nanotubos de carbono (2019)
Artigo da Nature sobre o primeiro chip com nanotubos de carbono
Vídeo-aula sobre Interconexões - Introdução (42:21)
Vídeo-aula sobre Evaporação térmica e electrom beam (31:10)
Vídeo-aula sobre Interconexões - Sputtering (12:26)
Vídeo-aula do bate-papo com Walter (IMEC) (1:05:54)
CMOS - Aula final do curso de Microeletrônica na UNIVESP
Interconexões - Slides da aula (novo)
Lista 2 de exercícios
T6 - Tarefa 6 sobre deposição de Cobre (opcional)
Vídeo-aula sobre Interconexões - 2a parte (01:02:00)
Vídeo-aula sobre Interconexões - conclusão (20:00)
Eletrônica de "Plástico"
T7 - Tarefa 7 sobre soft lithography (OPCIONAL)
Vídeo-aula sobre Eletrônica Orgânica (1:27:00)
Uma visão informal sobre a Microeletrônica moderna - com o Dr Nelson de Almeida Braga
Vídeo-aula com a Introdução à Resolução da Lista de Exercícios 2 (25:20)
Vídeo-aula com a Resolução da Lista de Exercícios 2 (1:19:56)
Vídeo-aula sobre o trabalho final do curso (07:20)
Solicitação de Prova Substitutiva
Epitaxia ►