Programação
Geral
QUADRO DE AVISOS
Convido-os(as) a responder um questionário sobre a presença de convidados durante a aula. O link do questionário é
https://forms.gle/Q3wirkis3Y48vqyZ9
Obrigado!
Neste trabalho Final cada estudante deverá apresentar as perspectivas para a microeletrônica nos próximas 10 anos. Neste mesmo trabalho é pedido a apresentação de perspectivas e previsões realizadas 10 anos ATRÁS sobre a microeletrônica.
A entrega é voluntária mas os trabalhos entregues valerão 20 % da nota final.
O deadline é 11 de dezembro de 2020.
As aulas remotas de PSI 3552 terminaram em 18/11/2020, com a 2a prova.
Resta somente a entrega do trabalho final até o dia 11/12/2020 (novo prazo).
Após a publicação das notas parciais, pretendo enviar um questionário para avaliação do curso.
Obrigado a todas e todos pelo convívio durante esta disciplina.PROVA 1
PROVA 2
Aula 1 - 19/08/2020
Objetivos, regras e calendário da disciplina. Apresentação dos participantes (professor, alunas e alunos)
- Slide com as datas e regras da disciplina Arquivo 228.2Kb Documento PDF Carregado 21/09/2020 00:07
Neste arquivo você encontra o calendário das aulas, as regras e os critérios de notas. Ao longo desta página do eDisciplina você encontra os temas de cada aula, relacionado às datas do calendário da disciplina.
Aula 2 - 21/08/2020 - A Microeletrônica no Brasil
Breve história da Microeletrônica no Brasil
Aula 3 - 26/08/20 - Silício Monocristalino
Atividade Pré-aula
Para esta aula, assista a parte da Vídeo-aula sobre a obtenção de substratos de silício monocristalino. (Entre o momento 7:34 até o fim do video, 22minutos depois)
Durante a aula será utilizado este arquivo:
- SILÍCIO - SUBSTRATO MONOCRISTALINO - SLIDES da Aula Arquivo 3.4Mb Documento PDF Carregado 15/08/2018 12:55
Bibliografia recomendada:
Estes textos ajudam na compreensão do material apresentado em sala de aula.
- Materiais para Microeletrônica Arquivo 1.8Mb Documento PDF
Capítulo de livro do Prof. Vitor Baranaukas
- A tecnologia de obtenção do silício monocristalino Arquivo 163.1Kb Documento PDF
Artigo do Prof Adnei Melges de Andrade sobre a purificação do silício
Aula 4 - 28/08/20 - Silício Monocristalino - Fusão Zonal.
Esta video-aula é a GRAVAÇÃO da aula remota ministrada em 28/08/2020 sobre a obtenção de lâminas de silício monocristalino.
00:00 - Explicação final sobre o método Czochralski
07:00 - Fusão Zonal
16:10 - Método NTD de dopagem N do Silício Fusão Zonal
23:00 - Como obter as lâminas
1:03:00 - Explicação do quadro comparativo CZ x FZ
1:19:30 - O que se deve especificar na compra de uma lâmina de Si
1:36:05 - Explicação sobre as Apresentações a serem entregues a cada semana.Fazer ua apresentação com tabelas comparativas de preços reais obtidos em fornecedores mundiais para as lâminas de silício:
Por exemplo, diâmetros da Lâmina, para tipos de Obtenção de silício monocristalino (CZ ou FZ), para uma condutividades à sua escolha, para direções cristalográficas diferentes, etc...
Entregar até 04/09/20 à meia-noite.
Aula 5 - 02/09/20 - Fabricação de fotomáscaras
Atividade Pré-aula
Arquivo utilizado durante a aula:
Esta vídeo-aula gravada em 16/06/2020 sobre a fotogravação e fabricação de fotomáscaras:.
00:00 - Evolução da Microeletrônica
12:32 - Como fazer uma fotomáscara
14:45 - Desenhando a máscara
18:30 - A ideia de tamanho
19:45 - O Fotoresiste
30:45 - O fotoresiste positivo
34:31 - O foresiste negativo
37:20 - Litografia convencional
40:00 - Fotoresiste x Exposição
44:03 - Propriedades
46:00 - Fabricação de fotomáscaras
1:02:38 - Pattern Generator- FOTOLITOGRAFIA - SLIDES da Aula Arquivo 3.1Mb Documento PDF Carregado 21/09/2020 01:26
Versão dos slides de 2020
Aula 6 - 04/09/20 - Fotogravação
Esta video-aula é a GRAVAÇÃO da aula remota ministrada em 02/09/2020 sobre a fotogravação das lâminas de silício:
00:00 - Introdução sobre a fotogravação.
05:20 - Sala Limpa e a fotogravação.
07:28 - Como colocar o fotoresiste sobre a lâmina de Si
09:49 - O fotoresiste
15:43 - Características do fotoresiste.
22:37 - Etapa de aplicação e pre-baking.
41:45 - Qual é o papel da fotogravação
51:00 - Etapas da pos-baking
53:18 - Etapas básicas da fotogravação
1:03:00 - método de Lift-off
1:08:00 - Efeito da difração na fotogravação
1:09:30 - Feixe de elétrons na fotogravação
1:12:20 - Interferometria para alinhamento das fotomáscaras
1:14:30 - Trabalho da semana sobre fotogravação.Neste trabalho cada aluno individualmente deverá preparar uma apresentação sobre os limites da fotolitografia. Podem ser mostradas as técnicas que estão sendo estudadas, quais as menores dimensões obtidas atualmente, novas maneiras de se fazer uma gravação em microeletrônica. A apresentação deverá ter no mínimo 4 slides (sem considerar a 1a. página) e até 10 slides. Não se esqueça de colocar os artigos e as fontes pesquisadas.
Este trabalho deverá ser enviado até 11/09/20, à meia-noite.
Bibliografia recomendada:
Estes textos ajudam na compreensão do material apresentado em sala de aula.
- Fotolitografia Arquivo 3.9Mb Documento PDF
Bibliografia auxiliar:
Nesta seção você encontra artigos e trechos de teses para se aprofundar no assunto.
- Nanolithography in Microelectronics: A Review Arquivo 1.5Mb Documento PDF
Nos dias 09 e 11/09 não teremos aula
Na semana de 08 a 11 de setembro de 2020 não teremos aula.
Somente a Tarefa 2 deverá ser entregue no dia 11/09 até a meia-noite.
Aula 7 - 16/09/20 - Oxidação Térmica
Atividade Pré-aula
Vídeo aula sobre oxidação e dopagem do curso de Microeletrônica da UNIVESP. (24 min)
https://youtu.be/LEf9dgIyLi4
Oxidação Térmica - Início
Dopagem - 12:50Esta video-aula é a GRAVAÇÃO da aula remota sobre a oxidação térmica:
00:00 - Introdução sobre a Oxidação Térmica
02:30 - Papel dos dielétricos na fabricação de CIs
03:10 - Por que as espessuras do óxido é cada vez menor?
05:15 - Perfil do MOSFET e camadas de SiO2
07:00 - Principais usos de um óxido num CI
11:10 - Diferença entre óxidos crescidos e depositados
14:10 - O Forno de Oxidação
27:25 - Importância do perfil de temperaturas do FornoEsta video-aula é a GRAVAÇÃO da aula remota sobre a OXIDAÇÃO TÉRMICA:
00:00 - A reação química do processo de crescimento do SiO2
05:00 - Proporção entre camada de óxido e lâmina de silício consumida
10:00 - Cinética de crescimento do SiO2
12:30 - Equação de crescimento do SiO2
17:00 - Taxa linear e parabólico de crescimento do SiO2
23:57 - Tipos de crescimento do ´SiO2
32:00 - Como crescem as camadas de SiO2
33:00 - Difusividades elevadas do Na e H
34:00 - Cálculo da espessura do óxido em função da temperatura
43:00 - Oxidação úmida x seca
47:00 - Coeficiente de segregação
53:00 - Cargas no óxido
58:30 - Influência da direção cristalográfica na oxidaçãoDurante a aula será utilizado este arquivo:
- OXIDAÇÃO TÉRMICA - SLIDES da Aula Arquivo 1.5Mb Documento PDF
Bibliografia recomendada:
Estes textos ajudam na compreensão do material apresentado em sala de aula.
- Oxidação Térmica Arquivo 4.6Mb Documento PDF
Trecho de uma dissertação de mestrado de 1972 sobre a Oxidação Térmica.
Aula 8 - 18/09/20 Oxidação Térmica
Esta video-aula é a GRAVAÇÃO da aula remota ministrada em 18/09/2020 sobre a OXIDAÇÃO TÉRMICA:
00:00 - Resumo da aula anterior sobre Oxidação
05:00 - (Slide 28) Qual temperatura escolher para a oxidação?
14:20 - (Slide 33) Influência da dopagem do substrato na oxidação do silício
27:00 - Enunciado do exercício
32:30 - Resolução do exercício
41:20 - O que preciso fazer para dopara uma lâmina?
43:00 - Processos de DOPAGEM.
56:00 - Dopagem do DIFUSÃO TÉRMICA.
1:10:00 - Explicação sobre o que é uma Aula Invertida.- LISTA DE EXERCÍCIOS 1 Arquivo 55.2Kb Documento do Word 2007 Carregado 21/09/2020 12:19
Esta lista deverá ser resolvida e enviada pelo e-Disciplina até o dia 30/09, à meia-noite.
Arquivo atualizado às 12:20 de 21/09.
Aula 9 - 23/09/20 - Dopagem
Primeira aula sobre dopagem de silício será focada na Difusão Térmica.
Atividade Pré-aula
Utilize o seu e-mail USP.BR para visualizar as video-aulas!
Vídeo-aula resumo sobre Dopagem.
Vídeo aula sobre dopagem curso de Microeletrônica da UNIVESP a partir de momento 12:53
https://youtu.be/LEf9dgIyLi4
Durante a aula será utilizado este arquivo:
- DOPAGEM - DIFUSÃO TÉRMICA - SLIDES da Aula Arquivo 1.5Mb Documento PDF
Bibliografia auxiliar:
Nesta seção você encontra artigos e trechos de teses para se aprofundar no assunto.
Slides com material didático sobre dopagem por difusão térmica e implantação iônica
- Difusão de Boro Arquivo 4Mb Documento PDF
Trecho de dissertação de mestrado de 1973 sobre difusão de Boro em Silício.
Aula 10 - 25/09/20 - Dopagem: Implantação Iônica
As aulas sobre dopagem continuam apresentando a Implantação Iônica. Abaixo você encontra os slides da aula e um texto explicando o assunto.
Gravações da aula sobre Implantação Iônica
Durante a aula será utilizado este arquivo:
- DOPAGEM - IMPLANTAÇÃO IÔNICA - Slides da Aula Arquivo 1.5Mb Documento PDF
Bibliografia recomendada:
Estes textos ajudam na compreensão do material apresentado em sala de aula.
- Implantação Iônica Arquivo 154.2Kb Documento PDF
Texto em português com os principais conceitos relacionados à Implantação Iônica. Texto do Prof. Adnei M. de Andrade.
Bibliografia auxiliar:
Nesta seção você encontra artigos e trechos de teses para se aprofundar no assunto.
- Implantação Iônica Arquivo 3.4Mb Documento PDF
Trecho de uma dissertação de Mestrado de 1976 mostrando a concepção e montagem de um Implantador Iônico.
Aula 11 - 30/09/20 - Prova 1
A prova 1 de PSI 3552 será das 13:15 às 15:45 e envolverá todas as aulas ministradas até esta data.
Aqui você entrega a sua lista de Exercícios 1 resolvida. Enviar até 30/09 à meia-noite.
Aula 12 - 02/10/20 - Corrosão
Atividade Pré-aula
Vídeo aula sobre corrosão (2a parte da vídeo-aula) da disciplina Microeletrônica do curso de Engenharia de Computação da UNIVESP. Vídeo-aula gravada em 2017.
https://youtu.be/-r-OvuZ5AtU
Durante a aula será utilizado este arquivo:
Material e atividade pós-aula
Na Tarefa 3 todos devem preparar uma apresentação sobre a fabricação de Microeletruturas Eletro-Mecânicas (MEMs), enfatizando as etapas de fabricação das mesmas.
Apresentar pelo menos dois artigos diferentes sobre o tema.
A tarefa deverá ser entregue até às 12hs do dia 07/10.
Bibliografia auxiliar
Aula 13 - 07/10/20 - Salas Limpas
Atividade Pré-aula
Vídeo aula sobre o local onde os circuitos integrados são fabricados, as chamadas Salas Limpas.
https://youtu.be/ykpxLw431V8
Durante a aula será utilizado este arquivo:
- SALAS LIMPAS - SLIDES da Aula Arquivo 2Mb Documento PDF
Material e atividade pós-aula (novo)
Nas vídeo-aulas estão duas apresentações dos alunos sobre MEMs (T3) e corrosão.
00:00 - Comentário sobre a corrosão úmida e os MEMs
03:00 - Apresentação de Andrei sobre MEMs
07:46 - Apresentação de Maria Fernanda sobre MEMs.
13:00 - Comentários do professor sobre os MEMs
Aula 14 - 09/10/2020 - Limpezas
Durante a aula será utilizado este arquivo.
- PROCESSOS DE LIMPEZA - SLIDES da Aula Arquivo 886.3Kb Documento PDF
Material e atividade pós-aula (novo)
Aula 15 - 14/10/20 - CVD
Atividade Pré-aula
Vídeo aula sobre Deposição (1a parte da vídeo-aula) da disciplina Microeletrônica do curso de Engenharia de Computação da UNIVESP. Vídeo-aula gravada em 2017.
https://youtu.be/-r-OvuZ5AtU
Durante a aula será utilizado este arquivo.
- CVD - Chemical Vapour Deposition (Parte 1) - Slides da aula Arquivo 2.3Mb Documento PDF Carregado 14/10/2020 22:57
Material e atividade pós-aula
Aula 16 - 16/10/20 - CVD
Durante a aula será utilizado este arquivo.
- CVD - Chemical Vapour Deposition (Parte 2) - Slides da aula Arquivo 1.5Mb Documento PDF
Bibliografia auxiliar
Material e atividade pós-aula
- Nesta tarefa cada aluno(a) deverá enviar um arquivo Power Point (PPT) de até 6 slides (sem contar a 1a página com o nome do aluno(a)) com uma apresentação sobre a obtenção de um dielétrico classificado como High-K. A apresentação deve indicar o material que foi depositado, a técnica utilizada (com uma curta descrição da técnica) e as principais características do material (como espessura, constante dielétrica, etc..).
O PRAZO DESTA TAREFA É 21/10/2020.
00:00 - Apresentação de Guilherme
11:27 - Apresentação de LeandroTrabalho Final - descrição do trabalho
Aula 17 - 21/10/20 - Epitaxia
Atividade Pré-aula
Vídeo aula sobre Epitaxia (1a parte da vídeo-aula) da disciplina Microeletrônica do curso de Engenharia de Computação da UNIVESP. Vídeo-aula gravada em 2017.
https://youtu.be/VXIJkRdT630
Durante a aula será utilizado este arquivo.
- Epitaxia - Slides da aula Arquivo 1.7Mb Documento PDF
A Tarefa 5 consiste em fazer uma apresentação sobre a deposição de metais via CVD. Pode ser qualquer metal e para qualquer aplicação, de microeletrônica ou não
Enviar esta tarefa até o dia 28/10/2020 ao meio-dia.
Material e atividade pós-aula
- 00:00 Reatores
02:21 Dopagem
05:20 Autodopagem 00:00 Cinética de crescimento
04:30 Dependência da Temperatura
05:50 Geração de Defeitos
07:20 Tipos de defeitos00:00 Molecular beam epitaxy
09:02 Silício policristalino
13:02 resumo
17:00 Considerações finais
Aula 18 - 23/10/20 - Interconexões
Atividade Pré-aula
Vídeo aula sobre Interconexões (2a parte da vídeo-aula) da disciplina Microeletrônica do curso de Engenharia de Computação da UNIVESP. Vídeo-aula gravada em 2017.
https://youtu.be/VXIJkRdT630
Durante a aula será utilizado este arquivo.
- Interconexões - Slides da aula Arquivo 1.8Mb Documento PDF Carregado 4/11/2020 13:20
- Artigo da Nature sobre o primeiro chip com nanotubos de carbono Arquivo 12.2Mb Documento PDF Carregado 23/10/2019 12:16
Material e atividade pós-aula
Aula 19 - 28/10/20 - Como é pesquisar microeletrônica no IMEC, Bélgica.
Nesta aula teremos uma Live com Walter Gonçalez Filho, POLI SE 2017 e Mestrado em Microeletrônica 2020. Ele está atualmente em Leuven, Bélgica, fazendo doutorado no IMEC (https://www.imec-int.com/en) e vai contar como está sendo a sua pesquisa e o seu dia a dia num Centro de Pesquisa Internacional.
Dia 30 de outubro não haverá aula
O dia do Funcionário Público foi transferido do dia 28/10 para o dia 30/10.
Aula 20 - 04/11/20 - Interconexões
Atividade Pré-aula
Nesta vídeo-aula são apresentados descrições etapa a etapa de um processo de fabricação de transistores CMOS
https://youtu.be/tU4Tr5s_DyY
Durante a aula será utilizado este arquivo.
- Interconexões - Slides da aula (novo) Arquivo 1.8Mb Documento PDF Carregado 4/11/2020 13:20
- Lista 2 de exercícios Arquivo 243.1Kb Documento PDF
A Lista de exercícios 2 para estudo para a P2. A entrega NÃO é obrigatória! Poderá substituir algum trabalho não entregue SE entregue até o dia 16/11/2020.
A Tarefa 6 consiste em fazer uma apresentação sobre a deposição e/ou utilização do Cobre em microeletrônica.
Enviar esta tarefa até o dia 16/11/2020 ao meio-dia.
A realização desta Tarefa é OPCIONAL e substituirá outra tarefa não feita ou entregue depois de 10 dias (quando vale somente 50% da nota)
Material e atividade pós-aula
Aula 21 - 06/11/20 - Técnicas de fabricação de Eletrônica Orgânica
Durante a aula será utilizado este arquivo.
- Eletrônica de "Plástico" Arquivo 7.5Mb Documento PDF
Um panorama sobre a tecnologia envolvendo a Eletrônica Orgânica.
Material e atividade pós-aula
Enviar a tarefa 7 até o dia 16/11/2020.
Esta apresentação deverá tratar de alguma técnica relacionada à soft lithography. Esta tecnologia surgiu para ser uma alternativa para a eletrônica inorgânica mas, deu muito mais certo quando aplicada à eletrônica orgânica. Nesta tarefa pesquisem como a soft lithography está sendo aplicada à eletrônica orgânica.
Aula 22 - 11/11/20 - Bate-papo com o Prof. Nelson Braga
Nesta aula teremos uma Live com o Prof. Nelson Liebentritt de Almeida Braga, diretamente de San Diego, Califórnia. O Prof. Nelson é politécnico (Eng Eletrônica, 86), com mestrado na Poli em 1989. Foi professor do PSI até ser convidado a trabalhar em microeletrônica na Califórnia anos atrás.
Ele vai contar a sua trajetória profissional, o seu trabalho, a sua visão da microeletrônica atual e responder às perguntas de todos.
Aula 23 - 13/11/20 - Resolução da Lista de Exercícios
Nesta aula foram resolvidos os exercícios da Lista 2.
Gravações da aula do dia 13/11/2020
Trabalho Final - Explicações sobre o trabalho
Aula 24 - 18/11 - Avaliação Final
A segunda prova será realizada no dia 18/11 das 13:15 às 16:00 pelo eDisciplinas. Devido às características da disciplina, toda a matéria será envolvida nesta avaliação.
Os alunos que necessitam de uma Prova Substitutiva devem enviar uma mensagem neste item e, acrescentar os motivos (que relacionados à sua saúde) que justificam a participação na Psub.