Gravação da aula sobre CVD - SiO2 e Si3N4 (42 min)
00:00 Cobertura de degraus 04:02 Óxido de Silício (SiO2) 10:13 Planarização
15:41 Nitreto de Silício (Si3N4) 19:35 PECVD 26:46 Deposição de Metais
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