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PSI5761 2Q 2020- Introdução aos Processos de Fabricação em Microeletrônica (2020)
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PSI5761--2020 2Quad
Aula 3 - 16/06/2020 - Litografia
Fotolitografia
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PSI5761 litografia 2018.pdf
◄ State-of-the-art and future of silicon on insulator technologies (2000)
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Avisos
Fórum da Disciplina PSI 5761 - 2 Quad 2020
A IMPORTÂNCIA DA INDÚSTRIA DE SEMICONDUTORES PARA O DESENVOLVIMENTO NACIONAL
Discussão sobre Ensino on line
Link para aula no MEET
Programa e Critérios de avaliação da disciplina
1a aula - Apresentação - 1a parte
1a. aula - Apresentação - 2a parte
O início da microeletrônica
The Transistor Museum
The First Transistor Invented in 1947
Substratos de Silício - Slide da aula
Aula 2 - Substratos 08/06/2020
A1 - Especificações sobre Substratos Semicondutores
Lista de presença do dia 16/06/2020
Video aula da UNIVESP sobre Salas Limpas e substratos
A tecnologia do silício - Adnei M de Andrade
Projeto e construção de um forno para a obtenção de monocristais de silicio pelo metodo Czochralski
Refining and Recycling of Silicon: A Review (2008)
State-of-the-art and future of silicon on insulator technologies (2000)
Aula 3 - Fotolitografia
Aula 3 - Apresentações A1
A2 - Pesquisando os limites da Litografia
Vídeo-aula UNIVESP sobre Fotogravação (nova versão)
Litografia para Microeletrônica - Antonio Carlos Seabra
Review sobre softlithografy
Gravação da aula sobre Oxidação Térmica - parte 1
Gravação da aula sobre Oxidação Térmica - parte 2
Oxidação Térmica
Apresentação 3 - Novos dielétricos
Video-aula da UNIVESP sobre Oxidação
Gravação da aula sobre Dopagem: DIFUSÃO TÉRMICA
Gravação da aula sobre Dopagem: IMPLANTAÇÃO IÔNICA
Slides usados na aula sobre Dopagem
Vídeo-aula sobre Dopagem - UNIVESP
Gravação da aula: Introdução e Corrosão úmida
Gravação da aula: Corrosão por plasma
Corrosão úmida e seca
A4 - Corrosão aplicada à fabricação de MEMs
Video-aula UNIVESP sobre Corrosão
CVD - parte 1
Gravação da aula sobre CVD - parte 1 (38 min)
Gravação da aula sobre CVD - parte 2 (22 min)
Gravação da aula sobre CVD - parte 3 (17 min)
A5 - CVD e materiais semicondutores
Lista de presença do dia 14/07/2020
Video-aula sobre CVD
Gravação da aula sobre CVD - Apresentação MEMS e Instruções sobre Trabalho
Gravação da aula sobre CVD - Si Poli
Gravação da aula sobre CVD - SiO2
Gravação da aula sobre CVD - SiO2 e Si3N4 (42 min)
CVD parte 2 - Slides da aula
A6 - CVD e deposição de metais
Lista de presença do dia 21/07/2020
Lista de Exercícios
T1 - Nome e objetivos da Plataforma de Difusão Científica
T2 - Tema do Trabalho Individual
Aula sobre SALAS LIMPAS
Aula sobre LIMPEZAS
Aula sobre EPITAXIA
Epitaxia - Slides de aula
Salas Limpas - Slide da aula
A7 - Epitaxia
Lista de presença do dia 29/07/2020
Video-aula UNIVESP sobre Epitaxia
Video-aula UNIVESP sobre Salas Limpas
Gravação da aula de 14/08/2020 sobre Interconexões (Parte 1)
Gravação da aula de 14/08/2020 sobre Interconexões (Parte 2)
Interconexões - Slide da aula
Lista de presença do dia 04/08/2020
Lista de presença do dia 11/08/2020
Video-aula UNIVESP sobre Interconexões
Tecnologia CMOS
Trabalho Final
Arquivo de apresentação do Trabalho Final
Link da gravação da apresentação do Trabalho Final
DEVOLUÇÃO DA AVALIAÇÃO FINAL
Prova A
Prova B
Prova C
Prova D
Prova E
Aula 3 - Fotolitografia ►