Programação
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PSI 3463 - Laboratório de Fabricação de Circuitos Integrados
Prof. Dr. João Antonio Martino
Prof. Dr. Marcelo Nelson Páez Carreño
Dr. Ricardo Cardoso Rangel
2o Semestre de 2023
Quarta-feira das 14:00hs às 17:40hs
Sala GD-04b
PROVA REC
Dia: 9/02/2024 as 14:00-
Roteiro de Instalação e uso do MINIMOS 6
1) Descompactar o arquivo do MINIMOS no diretório c:\
2) Iniciar > Run > cmd > (enter)
3) cd c:\minimos_6\bin (enter)
4) Para rotar o EX1.inp, digitar:
minimos EX1.inp /s (enter)
Qualquer dúvida entre em contato com rrangel@lsi.usp.br
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Introdução ao Curso; História da Microeletrônica; Componentes em Circuitos Integrados
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- Sequência de Fabricação de Dispositivos MOS a ser utilizada no curso
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- Simulador MINIMOS - Projeto e Análise da Sequência de Fabricação de Dispositivos MOS
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Caracterização e Limpeza de Lâminas de Silício
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Oxidação Térmica/Deposição de SiO2 PECVD
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Fotogravação
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Técnicas CVD e Dopagem do Silício Policristalino.
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Implantação Iônica.
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Técnicas de Metalização
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Caracterização Elétrica
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Aplicações e Dispositivos Avançados
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PROVA TEÓRICA FINAL