PSI3552 - Processos e Caracterização de Dispositivos Nanoeletrônicos (2023)

Esta video-aula é a GRAVAÇÃO da aula remota sobre a oxidação térmica:
00:00 - Introdução sobre a Oxidação Térmica
02:30 - Papel dos dielétricos na fabricação de CIs
03:10 - Por que as espessuras do óxido é cada vez menor?
05:15 - Perfil do MOSFET e camadas de SiO2
07:00 - Principais usos de um óxido num CI
11:10 - Diferença entre óxidos crescidos e depositados
14:10 - O Forno de Oxidação
27:25 - Importância do perfil de temperaturas do Forno