PSI3552 - Processos e Caracterização de Dispositivos Nanoeletrônicos (2023)

00:00 - Introdução
02:10 - Pergunta sobre Decapagem
06:47 - Perguntas sobre filtros
08:16 - Pergunta sobre Sala Limpa
14:00 - Campo claro e campo escuro
20:40 - Como seria a decapagem ideal

22:40 - SALA LIMPA e filtros
26:40 - Poluição gerada pela fabricação de CIs
34:00 - Sobre Salas Limpas
35:20 - Sala Limpa e fluxo de ar
41:00 - Classes de Salas Limpas
43:00 - Comportamento humano e limpeza

49:58 - LIMPEZAS
51:00 - Limpezas principais
53:00 - Efeito adverso das partículas
54:50 - Efeito dos enxagues
1:01:00 - Equipamentos para realizar as limpezas
1:02:00 - Água DI
1:06:10 - A limpeza inicial
1;07:47 - Limpeza para desengordurar
1:09:06 - Sistema contínuo
1:09:25 - Remoção do óxido nativo
1:09:45 - Observações gerais