PSI3552 - Processos e Caracterização de Dispositivos Nanoeletrônicos (2023)

Esta video-aula é a GRAVAÇÃO da aula remota ministrada em 02/09/2020 sobre a fotogravação das lâminas de silício:
00:00 - Introdução sobre a fotogravação.
05:20 - Sala Limpa e a fotogravação.
07:28 - Como colocar o fotoresiste sobre a lâmina de Si
09:49 - O fotoresiste
15:43 - Características do fotoresiste. 
22:37 - Etapa de aplicação e pre-baking.
41:45 - Qual é o papel da fotogravação
51:00 - Etapas da pos-baking
53:18 - Etapas básicas da fotogravação
1:03:00 - método de Lift-off
1:08:00 - Efeito da difração na fotogravação
1:09:30 - Feixe de elétrons na fotogravação
1:12:20 - Interferometria para alinhamento das fotomáscaras
1:14:30 - Trabalho da semana sobre fotogravação.