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PSI3552 - Processos e Caracterização de Dispositivos Nanoeletrônicos (2023)
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PSI3552-101-2023
Aula 2 - 28/03/23 - Silício Monocristalino
Materiais para Microeletrônica
Materiais para Microeletrônica
Capítulo de livro do Prof. Vitor Baranaukas
1.8 MB documento PDF
Haga clic en
Materiais para Microeletronica vitor baranaukas.pdf
para ver el archivo.
◄ T2 - Orçamentos de Lâminas de Si Monocristalino
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Avisos
Arquivo com as datas e regras da disciplina em 2022 (Nova versão em 23/11/2022)
15/03/23 OESP Volkswagen volta a suspender produção por falta de chips. GM para unidade por problema de demanda
23_03_04 FSP Brasil é uma das novas frentes na guerra dos chips entre EUA e China
21_03_14 OESP Por que a falta de chips para as fábricas
21_05_30 OESP Em falta, chips são disputados globalmente
O importante papel do 'escudo de silício' que protege Taiwan da China (13:45)
Tarefa 1 - Mercado brasileiro e mundial de componentes eletrônicos
Vídeo aula sobre Sala Limpa e Substratos (22 min)
SILÍCIO - SUBSTRATO MONOCRISTALINO - SLIDES da Aula
Aula 2 - Substratos Parte 1 (duração: 1:08:07)
Aula 2 - Substratos Parte 2 (Duração 01:39:38)
T2 - Orçamentos de Lâminas de Si Monocristalino
A tecnologia de obtenção do silício monocristalino
Vídeo aula sobre FOTOLITOGRAFIA (21:36)
FOTOLITOGRAFIA - SLIDES da Aula
Vídeo aula sobre FOTOGRAVAÇÃO e Fabricação de FOTOMÁSCARAS
Vídeo aula sobre FOTOGRAVAÇÃO e Fabricação de FOTOMÁSCARAS (copiado)
Vídeo aula sobre a FOTOGRAVAÇÃO sobre lâminas de Si (1:23:42)
T3 - Os limites da fotolitografia
Fotolitografia
Nanolithography in Microelectronics: A Review
Vídeo aula sobre Oxidação e Dopagem
OXIDAÇÃO TÉRMICA - SLIDES da Aula
Oxidação Térmica
Tarefa 4 - Quantos CIs são utilizados em um automóvel?
Vídeo aula sobre OXIDAÇÃO TÉRMICA (29:05)
Vídeo aula sobre OXIDAÇÃO TÉRMICA - Continuação (1:11:53):
Índia entra na disputa global com R$ 15 bilhões para fábrica de chips (06/09/22)
Depois de liquidar Ceitec, governo sonha com chips da Intel ou Samsung no Brasil
Vídeo aula sobre Dopagem
DOPAGEM - DIFUSÃO TÉRMICA - SLIDES da Aula
DOPAGEM - IMPLANTAÇÃO IÔNICA - Slides da Aula
Vídeo aula de Introdução sobre Dopagem (14:00)
Vídeo aula sobre a Dopagem - Parte 2 (10:04)
Vídeo aula sobre a Dopagem - Parte 3 (6:15)
Vídeo aula sobre a Dopagem - Parte 4 (14:30)
Vídeo aula de Introdução sobre Implantação Iônica (11:58)
Como funciona um Implantador Iônico? (10:00)
Até onde o íon implantado penetra no substrato? (20:00)
Destruição e recuperação da rede cristalina (17:53)
O que é a canalização ("channeling") numa Implantação Iônica (5: 27)
Difusão de Boro
Implantação Iônica
CI technology- diffusion and ion implantation
Implantação Iônica
Video-aula sobre Decapagem (Etching)
Aula Decapagem - Slides da aula
LISTA DE EXERCÍCIOS 1
T5 - MEMs, Microestruturas e decapagem
Video-aula sobre Decapagem - Introdução (10 min)
Video-aula sobre Decapagem Úmida (48 min)
Video-aula sobre Decapagem por Plasma (40 min)
Resumo sobre DECAPAGEM (23:51)
Textos de apoio sobre Decapagem
Entrega da Lista 1
Resumo sobre DOPAGEM (43:30)
Aula resumo sobre Dopagem e Decapagem (37:16)
Aula resumo sobre Decapagem e Salas Limpas (48:54)
Vídeo aula sobre Sala Limpa (7:25)
SALAS LIMPAS - SLIDES da Aula
PROCESSOS DE LIMPEZA - SLIDES da Aula
Vídeo aula sobre Sala Limpa (18:39)
Video-aula com aula sobre Limpezas (56:00)
Video-aula sobre Decapagem, Salas Limpas e Limpezas (1:17:17)
Video-aula sobre CVD
CVD - Chemical Vapour Deposition (Parte 1) - Slides da aula
CVD - Chemical Vapour Deposition (Parte 2) - Slides da aula
T6 - Obtenção de dielétricos High-k
Vídeo-aula sobre Introdução ao CVD (07:28)
Vídeo-aula sobre CVD 1 (11:04)
Vídeo-aula sobre CVD 2 (33:55)
Vídeo-aula sobre CVD 3 (32:34)
Gravação do Resumo sobre CVD (35:23)
Vídeo-aulas sobre CVD - 2a Parte (42:03)
Vídeo-aulas sobre CVD - LPCVD (28:03)
Vídeo-aulas sobre CVD - Si Poli (38:03)
Textos de apoio sobre deposição
Epitaxia
Epitaxia - Slides da aula
T7 - Tarefa 7 sobre deposição de camadas epitaxiais
T8 - Link da apresentação da Tarefa 7
Vídeo-aula sobre Epitaxia - Apresentação (31:42)
Vídeo-aula sobre Epitaxia - Parte 2 (09:42)
Vídeo-aula sobre Epitaxia - Parte 3 (09:22)
Vídeo-aula sobre Epitaxia - Parte 3 MBE (22:26)
Epitaxia - Respostas do Questionário e resumo sobre Epitaxia (47:53)
Epitaxia - Considerações finais sobre materiais obtidos por Epitaxia (04:13)
Interconexões
Interconexões - Slides da aula
Lista 2 de exercícios (em Word e PDF)
T9 - Tarefa 9 sobre deposição de Cobre
T10 - Link com apresentação da Tarefa 9
Vídeo-aula sobre Interconexões - Introdução (42:21)
Vídeo-aula sobre Evaporação térmica e electrom beam (31:10)
Interconexões - Gravação da aula de resumo
Vídeo-aula sobre Interconexões - Sputtering (12:26)
Artigo da Nature sobre o primeiro chip com nanotubos de carbono
Primeiro chip com nanotubos de carbono (2019)
Eletrônica de "Plástico"
Vídeo-aula sobre Eletrônica Orgânica (1:27:00)
CMOS - Aula final do curso de Microeletrônica na UNIVESP
Lista de Exercícios 2
Uma visão informal sobre a Microeletrônica moderna - com o Dr Nelson de Almeida Braga (2:08:00)
A tecnologia de obtenção do silício monocristalino ►