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PSI3552 - Processos e Caracterização de Dispositivos Nanoeletrônicos (2023)
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2023
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PSI
PSI3552-101-2023
Aula 3 - 11/04/23 -LITOGRAFIA
FOTOLITOGRAFIA - SLIDES da Aula
FOTOLITOGRAFIA - SLIDES da Aula
Versão dos slides de 2020
3.1 Mb Documento PDF Carregado 20/03/2023 19:24
Clique no link
PSI 3552 Fotolitografia 2020.pdf
para ver o arquivo.
◄ Vídeo aula sobre FOTOLITOGRAFIA (21:36)
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Avisos
Arquivo com as datas e regras da disciplina em 2022 (Nova versão em 23/11/2022)
15/03/23 OESP Volkswagen volta a suspender produção por falta de chips. GM para unidade por problema de demanda
23_03_04 FSP Brasil é uma das novas frentes na guerra dos chips entre EUA e China
21_03_14 OESP Por que a falta de chips para as fábricas
21_05_30 OESP Em falta, chips são disputados globalmente
O importante papel do 'escudo de silício' que protege Taiwan da China (13:45)
Tarefa 1 - Mercado brasileiro e mundial de componentes eletrônicos
Vídeo aula sobre Sala Limpa e Substratos (22 min)
SILÍCIO - SUBSTRATO MONOCRISTALINO - SLIDES da Aula
Aula 2 - Substratos Parte 1 (duração: 1:08:07)
Aula 2 - Substratos Parte 2 (Duração 01:39:38)
T2 - Orçamentos de Lâminas de Si Monocristalino
Materiais para Microeletrônica
A tecnologia de obtenção do silício monocristalino
Vídeo aula sobre FOTOLITOGRAFIA (21:36)
Vídeo aula sobre FOTOGRAVAÇÃO e Fabricação de FOTOMÁSCARAS
Vídeo aula sobre FOTOGRAVAÇÃO e Fabricação de FOTOMÁSCARAS (copiado)
Vídeo aula sobre a FOTOGRAVAÇÃO sobre lâminas de Si (1:23:42)
T3 - Os limites da fotolitografia
Fotolitografia
Nanolithography in Microelectronics: A Review
Vídeo aula sobre Oxidação e Dopagem
OXIDAÇÃO TÉRMICA - SLIDES da Aula
Oxidação Térmica
Tarefa 4 - Quantos CIs são utilizados em um automóvel?
Vídeo aula sobre OXIDAÇÃO TÉRMICA (29:05)
Vídeo aula sobre OXIDAÇÃO TÉRMICA - Continuação (1:11:53):
Índia entra na disputa global com R$ 15 bilhões para fábrica de chips (06/09/22)
Depois de liquidar Ceitec, governo sonha com chips da Intel ou Samsung no Brasil
Vídeo aula sobre Dopagem
DOPAGEM - DIFUSÃO TÉRMICA - SLIDES da Aula
DOPAGEM - IMPLANTAÇÃO IÔNICA - Slides da Aula
Vídeo aula de Introdução sobre Dopagem (14:00)
Vídeo aula sobre a Dopagem - Parte 2 (10:04)
Vídeo aula sobre a Dopagem - Parte 3 (6:15)
Vídeo aula sobre a Dopagem - Parte 4 (14:30)
Vídeo aula de Introdução sobre Implantação Iônica (11:58)
Como funciona um Implantador Iônico? (10:00)
Até onde o íon implantado penetra no substrato? (20:00)
Destruição e recuperação da rede cristalina (17:53)
O que é a canalização ("channeling") numa Implantação Iônica (5: 27)
Difusão de Boro
Implantação Iônica
CI technology- diffusion and ion implantation
Implantação Iônica
Video-aula sobre Decapagem (Etching)
Aula Decapagem - Slides da aula
LISTA DE EXERCÍCIOS 1
T5 - MEMs, Microestruturas e decapagem
Video-aula sobre Decapagem - Introdução (10 min)
Video-aula sobre Decapagem Úmida (48 min)
Video-aula sobre Decapagem por Plasma (40 min)
Resumo sobre DECAPAGEM (23:51)
Textos de apoio sobre Decapagem
Entrega da Lista 1
Resumo sobre DOPAGEM (43:30)
Aula resumo sobre Dopagem e Decapagem (37:16)
Aula resumo sobre Decapagem e Salas Limpas (48:54)
Vídeo aula sobre Sala Limpa (7:25)
SALAS LIMPAS - SLIDES da Aula
PROCESSOS DE LIMPEZA - SLIDES da Aula
Vídeo aula sobre Sala Limpa (18:39)
Video-aula com aula sobre Limpezas (56:00)
Video-aula sobre Decapagem, Salas Limpas e Limpezas (1:17:17)
Video-aula sobre CVD
CVD - Chemical Vapour Deposition (Parte 1) - Slides da aula
CVD - Chemical Vapour Deposition (Parte 2) - Slides da aula
T6 - Obtenção de dielétricos High-k
Vídeo-aula sobre Introdução ao CVD (07:28)
Vídeo-aula sobre CVD 1 (11:04)
Vídeo-aula sobre CVD 2 (33:55)
Vídeo-aula sobre CVD 3 (32:34)
Gravação do Resumo sobre CVD (35:23)
Vídeo-aulas sobre CVD - 2a Parte (42:03)
Vídeo-aulas sobre CVD - LPCVD (28:03)
Vídeo-aulas sobre CVD - Si Poli (38:03)
Textos de apoio sobre deposição
Epitaxia
Epitaxia - Slides da aula
T7 - Tarefa 7 sobre deposição de camadas epitaxiais
T8 - Link da apresentação da Tarefa 7
Vídeo-aula sobre Epitaxia - Apresentação (31:42)
Vídeo-aula sobre Epitaxia - Parte 2 (09:42)
Vídeo-aula sobre Epitaxia - Parte 3 (09:22)
Vídeo-aula sobre Epitaxia - Parte 3 MBE (22:26)
Epitaxia - Respostas do Questionário e resumo sobre Epitaxia (47:53)
Epitaxia - Considerações finais sobre materiais obtidos por Epitaxia (04:13)
Interconexões
Interconexões - Slides da aula
Lista 2 de exercícios (em Word e PDF)
T9 - Tarefa 9 sobre deposição de Cobre
T10 - Link com apresentação da Tarefa 9
Vídeo-aula sobre Interconexões - Introdução (42:21)
Vídeo-aula sobre Evaporação térmica e electrom beam (31:10)
Interconexões - Gravação da aula de resumo
Vídeo-aula sobre Interconexões - Sputtering (12:26)
Artigo da Nature sobre o primeiro chip com nanotubos de carbono
Primeiro chip com nanotubos de carbono (2019)
Eletrônica de "Plástico"
Vídeo-aula sobre Eletrônica Orgânica (1:27:00)
CMOS - Aula final do curso de Microeletrônica na UNIVESP
Lista de Exercícios 2
Uma visão informal sobre a Microeletrônica moderna - com o Dr Nelson de Almeida Braga (2:08:00)
Vídeo aula sobre FOTOGRAVAÇÃO e Fabricação de FOTOMÁSCARAS ►