Apresentar em nível de pós-graduação vários aspectos das tecnologias envolvidas na fabricação de dispositivos em micro e nano eletrônica, com ênfase na seleção e caracterização dos materiais envolvidos na fabricação destes componentes, sua caracterização e integração em micro e nano sistema, nesta disciplina também serão apresentados novos materiais e novas tecnologias em estudo e que podem ser empregados na microeletrônica e nano eletrônica. O objetivo é propiciar ao aluno acesso as tecnologias dos micro e nano sistemas, suas principais características e aplicações, caracterização de materiais empregados em microeletrônica, escalamento das características para a nano eletrônica, utilização das técnicas de caracterização físico, químicas dos materiais e elétricas de componentes integrados e dispositivos, relacionando as características dos dispositivos aos materiais e técnicas empregados na sua fabricação, abordando os principais aspectos tecnológicos e teóricos fundamentais para esses sistemas e sua integração.