PSI5740 - Tópicos de Fabricação de Microestruturas (2024)

Apresentar, em nível de pós-graduação, as principais técnicas de micro fabricação utilizadas no desenvolvimento de micro sensores e micro atuadores baseados em sistemas micro-eletro-mecânicos (MEMS). O objetivo é introduzir o aluno à tecnologia dos MEMS, suas principais características e aplicações, abordando os principais aspectos tecnológicos e teóricos que fundamentam as técnicas de fabricação desses sistemas.