Corso: PSI5838 - Processos Avançados de Microeletrônica (3/2019)

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PSI 5838 - PROCESSOS AVANÇADOS DE MICROELETRÔNICA (3/2019)
Prof. Dr. Antonio Carlos Seabra
3^o. Período de 2019
Calendário 3/2019 da Disciplina
Entrega dos Portfólios
Seu portfólio deve ser entregue em um único arquivo pdf (coloque no nome do arquivo o seu próprio nome). Se tiver textos ou figuras manuscritos, escaneie e insira nessa arquivo.
A data máxima de entrega é 18/12 até as 24:00h.
- Entrega do Portfólio (18/12/2019 24:00h) Compito
Deposição de camadas atômicas (Atomic Layer Deposition - ALD)
Você deve ver o vídeo sobre ALD e fazer um resumo de 1 página frente e verso sobre o mesmo. Procure destacar que contribuições essa técnica trás que outras (como CVD tradicional) não conseguem oferecer.
Este texto deve ser incluído em seu portfólio.
- Deposição ALD (em inglês - 64 min) URL
  
  Assitam este vídeo antes de lerem o artigo seguinte.
- Uma breve revisão de ALD: fundamentos e aplicações (2014) File
  
  Vejam este artigo apenas depois de assistirem ao vídeo.
Tópico: CVD
Voces devem finalizar a reunião gravada até o dia 11/12/2019 às 18:00h. O vídeo gravado é automaticamente armazenado quando voces saem do sistema mas não fica visível para vocês.
- Texto sobre CVD File
- Atividade 1:
  Leia o item 13.1 individualmente e escreva um texto explicando :
  a) Porque usar um diluente?
  b) Explique o que significam os índices (s) e (g) na expressão 13.1. Qual a importância do (s) do ponto de vista de um sistema de deposição?
  c) Qual a diferença entre um processo homogêneo e um processo heterogêneo?
  d) Compare os passos que ocorrem durante o CVD com aqueles que discutimos em corrosão por plasma.
- Atividade 2:
  Dividam-se em 2 grupos de 2, um grupo vai ler o item 13.2 e outro grupo vai ler o item 13.3.
  Para o grupo do item 13.2:
  a) Explique em palavras, baseando-se na expressão 1.3, o que é a lei da ação de massas.
  b) Explique como o autor chegou na expressão 13.6.
  c) Explique a relação entre livre caminho médio e o tamanho da câmara. Em CVD o que é ideal? Porquê?
  d) Explique o que é coeficiente de adesão (sticking coefficient)
  Para o grupo do item 13.3:
  a) Explique a relação entre livre caminho médio e o tamanho da câmara. Em CVD o que é ideal? Porquê?
  b) Segundo o texto, em que regime de fluxo normalmente um sistema CVD se encontra?
  c) Explique o que as reações 13.18 e 13.19 querem dizer.
  d) Exlique as duas representações da figura 13.7
- Atividade 3:
  a) Leiam antecipadamente o item 13.4
  b) Combinem um horário e entrem no link
  https://bbb-epidaurus.com/b/ant-rf9-h6h
  Reunam-se na sala virtual (com gravação) durante 1h30min
  Utilizem como navegador apenas o Chrome ou o Firefox.
  c) Cada grupo deve explicar em 20-25min ao outro grupo as conclusões do item que leu, deixando claro quais as conclusões sobre os itens a) a d).
  d) Juntos, durante os 30-40 minutos restantes, voces devem discutir quais as principais conclusões do item 13.4.
Espaço dos alunos
- Discussão livre entre alunos Chat
- Forum livre entre os alunos
Slides 2019
Litografia
- Litografia: Parte1 File
- Regras de Layout File
  
  Enviadas por Gleydson.
- The art of Building Small File
- Nanomateriais para Transistores File
Tópico: Corrosão
Tópico: Evaporação e Sputtering
- Sputering e Evaporação File
Listas 2019
- PSI5838-2019 Questoes Aula06 File
- PSI5838-2017 Questoes Aula01 File
- Entrega da Lista 1 Compito
- Regras de Layout File
  
  Informações de apoio para resolver a lista 1.
- ITRS 2013 on Lithography URL
- Beyond CMOS URL

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Deposição de camadas atômicas (Atomic Layer Deposition - ALD)

Você deve ver o vídeo sobre ALD e fazer um resumo de 1 página frente e verso sobre o mesmo. Procure destacar que contribuições essa técnica trás que outras (como CVD tradicional) não conseguem oferecer.
Este texto deve ser incluído em seu portfólio.

Tópico: CVD

Voces devem finalizar a reunião gravada até o dia 11/12/2019 às 18:00h. O vídeo gravado é automaticamente armazenado quando voces saem do sistema mas não fica visível para vocês.

Atividade 2:
Dividam-se em 2 grupos de 2, um grupo vai ler o item 13.2 e outro grupo vai ler o item 13.3.

Atividade 3:

a) Leiam antecipadamente o item 13.4

b) Combinem um horário e entrem no link
https://bbb-epidaurus.com/b/ant-rf9-h6h
Reunam-se na sala virtual (com gravação) durante 1h30min

Utilizem como navegador apenas o Chrome ou o Firefox.

c) Cada grupo deve explicar em 20-25min ao outro grupo as conclusões do item que leu, deixando claro quais as conclusões sobre os itens a) a d).

d) Juntos, durante os 30-40 minutos restantes, voces devem discutir quais as principais conclusões do item 13.4.

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Tópico: Evaporação e Sputtering

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Deposição de camadas atômicas (Atomic Layer Deposition - ALD)

Você deve ver o vídeo sobre ALD e fazer um resumo de 1 página frente e verso sobre o mesmo. Procure destacar que contribuições essa técnica trás que outras (como CVD tradicional) não conseguem oferecer.Este texto deve ser incluído em seu portfólio.

Tópico: CVD

Voces devem finalizar a reunião gravada até o dia 11/12/2019 às 18:00h. O vídeo gravado é automaticamente armazenado quando voces saem do sistema mas não fica visível para vocês.

Atividade 2:Dividam-se em 2 grupos de 2, um grupo vai ler o item 13.2 e outro grupo vai ler o item 13.3.

Atividade 3:

a) Leiam antecipadamente o item 13.4

b) Combinem um horário e entrem no link https://bbb-epidaurus.com/b/ant-rf9-h6hReunam-se na sala virtual (com gravação) durante 1h30min

Utilizem como navegador apenas o Chrome ou o Firefox.

c) Cada grupo deve explicar em 20-25min ao outro grupo as conclusões do item que leu, deixando claro quais as conclusões sobre os itens a) a d).

d) Juntos, durante os 30-40 minutos restantes, voces devem discutir quais as principais conclusões do item 13.4.

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Tópico: Evaporação e Sputtering

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Você deve ver o vídeo sobre ALD e fazer um resumo de 1 página frente e verso sobre o mesmo. Procure destacar que contribuições essa técnica trás que outras (como CVD tradicional) não conseguem oferecer.
Este texto deve ser incluído em seu portfólio.

Atividade 2:
Dividam-se em 2 grupos de 2, um grupo vai ler o item 13.2 e outro grupo vai ler o item 13.3.

b) Combinem um horário e entrem no link
https://bbb-epidaurus.com/b/ant-rf9-h6h
Reunam-se na sala virtual (com gravação) durante 1h30min