Programação
Geral
PSI 5838 - PROCESSOS AVANÇADOS DE MICROELETRÔNICA (3/2019)
Prof. Dr. Antonio Carlos Seabra
3o. Período de 2019
Entrega dos Portfólios
Seu portfólio deve ser entregue em um único arquivo pdf (coloque no nome do arquivo o seu próprio nome). Se tiver textos ou figuras manuscritos, escaneie e insira nessa arquivo.
A data máxima de entrega é 18/12 até as 24:00h.
Deposição de camadas atômicas (Atomic Layer Deposition - ALD)
Você deve ver o vídeo sobre ALD e fazer um resumo de 1 página frente e verso sobre o mesmo. Procure destacar que contribuições essa técnica trás que outras (como CVD tradicional) não conseguem oferecer.
Este texto deve ser incluído em seu portfólio.Assitam este vídeo antes de lerem o artigo seguinte.
Vejam este artigo apenas depois de assistirem ao vídeo.
Tópico: CVD
Voces devem finalizar a reunião gravada até o dia 11/12/2019 às 18:00h. O vídeo gravado é automaticamente armazenado quando voces saem do sistema mas não fica visível para vocês.
Atividade 1:
Leia o item 13.1 individualmente e escreva um texto explicando :
a) Porque usar um diluente?
b) Explique o que significam os índices (s) e (g) na expressão 13.1. Qual a importância do (s) do ponto de vista de um sistema de deposição?
c) Qual a diferença entre um processo homogêneo e um processo heterogêneo?
d) Compare os passos que ocorrem durante o CVD com aqueles que discutimos em corrosão por plasma.Atividade 2:
Dividam-se em 2 grupos de 2, um grupo vai ler o item 13.2 e outro grupo vai ler o item 13.3.Para o grupo do item 13.2:
a) Explique em palavras, baseando-se na expressão 1.3, o que é a lei da ação de massas.
b) Explique como o autor chegou na expressão 13.6.
c) Explique a relação entre livre caminho médio e o tamanho da câmara. Em CVD o que é ideal? Porquê?
d) Explique o que é coeficiente de adesão (sticking coefficient)Para o grupo do item 13.3:
a) Explique a relação entre livre caminho médio e o tamanho da câmara. Em CVD o que é ideal? Porquê?
b) Segundo o texto, em que regime de fluxo normalmente um sistema CVD se encontra?
c) Explique o que as reações 13.18 e 13.19 querem dizer.
d) Exlique as duas representações da figura 13.7Atividade 3:
a) Leiam antecipadamente o item 13.4
b) Combinem um horário e entrem no link
https://bbb-epidaurus.com/b/ant-rf9-h6h
Reunam-se na sala virtual (com gravação) durante 1h30minUtilizem como navegador apenas o Chrome ou o Firefox.
c) Cada grupo deve explicar em 20-25min ao outro grupo as conclusões do item que leu, deixando claro quais as conclusões sobre os itens a) a d).
d) Juntos, durante os 30-40 minutos restantes, voces devem discutir quais as principais conclusões do item 13.4.
Listas 2019
- Informações de apoio para resolver a lista 1.