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PROCESSOS AVANÇADOS DE FABRICAÇÃO DE CIRCUITOS INTEGRADOS E MEMS: nesta disciplina apresentam-se as técncias de fabricação não convencionais utilizadas para fabricação de dispositivos MOS avançados e dispositivos MEMS, tais como técnicas nanolitográficas, técnicas de corrosão por plasma multietapas, deposição por camada atômica e outras.
- Docente: Antonio Carlos Seabra
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