PSI5838 - Processos Avançados de Microeletrônica (3/2019)

PROCESSOS AVANÇADOS DE FABRICAÇÃO DE CIRCUITOS INTEGRADOS E MEMS: nesta disciplina apresentam-se as técncias de fabricação não convencionais utilizadas para fabricação de dispositivos MOS avançados e dispositivos MEMS, tais como técnicas nanolitográficas, técnicas de corrosão por plasma multietapas, deposição por camada atômica e outras.