PROCESSOS AVANÇADOS DE FABRICAÇÃO DE CIRCUITOS INTEGRADOS E MEMS: nesta disciplina apresentam-se as técncias de fabricação não convencionais utilizadas para fabricação de dispositivos MOS avançados e dispositivos MEMS, tais como técnicas nanolitográficas, técnicas de corrosão por plasma multietapas, deposição por camada atômica e outras.

e-Disciplinas - Ambiente de apoio às disciplinas da USP