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PSI5838 - Processos Avançados de Microeletrônica (2021)
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PSI5838-3'2021
Aula 02: Litografia
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Avisos
PSI5838-3/2021 Calendário
Leitura Obrigatória para Aula 09
Vídeo Obrigatório 1 (5min) para Aula 09 (18-01-2022): ALD
Vídeo Obrigatório 2 (12min) para Aula 09 (18-01-2022): ALD (copiado)
Entrega do Resumo da Aula 9 (até 23:55h de 19/01/2022)
Leitura Obrigatória para Aula 08 (copiado)
Entrega do Resumo da Aula 8 (até 12h de 05/10/2021)
Leitura Obrigatória para Aula 07 (06-12-2021)
Vídeo Obrigatório 1 (9min) para Aula 07 (15-11-2021): CVD
Vídeo Obrigatório 2 (10min) para Aula 07 (15-11-2021): CVD
Entrega do Resumo da Aula 7 (até 12h de 05/10/2021)
Leitura Obrigatória para Aula 06 (15-11-2021) (copiado)
Vídeo Obrigatório para Aula 06 (15-11-2021): Sputtering (9min)
Entrega do Resumo da Aula 6 (até 12h de 05/10/2021)
Leitura Obrigatória para Aula 05 (02-11-2021)
Vídeo Obrigatório para Aula 05 (02-11-2021): Corrosão por Plasma - Como usar na Poli-USP (9min)
Processo Bosch
Entrega do Resumo da Aula 5 (até 12h de 05/10/2021)
Leitura Obrigatória para Aula 04 (17-10-2021)
Vídeo Obrigatório para Aula 04 (17-10-2021)
PSI5838-2021 Slides Aula05
Entrega do Resumo da Aula 4 (até 12h de 05/10/2021)
PSI5838-2021 Slides Aula03
PSI5838-2021 Lista Aula03
Entrega do Resumo da Aula 3 (até 12h de 05/10/2021)
Leitura 1 e Video 1 para Aula 02 (28-09-2021)
Lista a ser preparada para a Aula 2
PSI5838-2021 Slides Aula02
Regras de Layout
PSI5838-2017 Questoes Aula01
Entrega do Resumo da Aula 2 (até 12h de 05/10/2021)
Entrega da Lista 1
Nanomateriais para Transistores
Litografia MEMS
Apresentação do Curso e Metodologia de Trabalho
Discussão livre entre alunos
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