A disciplina visa introduzir fundamentos associados com a ciência e tecnologia de filmes finos inorgânicos e cristalinos. Para isso: (i) aborda fundamentos físicos e químicos dos processos que regem as interações filme - substrato e os mecanismos de nucleação dos filmes; (ii) estuda mecanismos de formação e evolução das nanoestruturas e/ou microestruturas dos filmes; (iii) considera a influência dos métodos e parâmetros de deposição nas caracteríticas dos filmes fabricados e (iv) apresenta técnicas, de resolução espacial nanométrica, importantes para a caracterização estrutural e química de filmes e superfícies.