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PSI 5838 - PROCESSOS AVANÇADOS DE MICROELETRÔNICA (3/2024)
Prof. Dr. Antonio Carlos Seabra
3o. Período de 2024
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Calendário 3/2024 da Disciplina
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Aula 01: Introdução
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Aula 02: Litografia
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Aula 03: Litografia - Parte 2
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Aula04: Corrosão
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Aula 05: Corrosão - parte II
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Aula 06: Deposição por Sputtering/Evaporação
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Aula 07: CVD
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Aula 08: Os Princípios da Formação de Filmes Finos
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Aula 09: Deposição de camadas atômicas (Atomic Layer Deposition - ALD)
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Espaço dos alunos